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真空鍍膜技術(shù)作為一種產(chǎn)生特定膜層的技術(shù)，在現(xiàn)實(shí)生產(chǎn)生活中有著廣泛的應(yīng)用。真空鍍膜技術(shù)有三種形式，即蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。這里主要講一下由濺射鍍膜技術(shù)發(fā)展來(lái)的磁控濺射鍍膜的原理及相應(yīng)工藝的研究。
磁控濺射是物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition，PVD)的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料，且具有設(shè)備簡(jiǎn)單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)，而上世紀(jì) 70 年代發(fā)展起來(lái)的磁控濺射法更是實(shí)現(xiàn)了高速、低溫、低損傷。因?yàn)槭窃诘蜌鈮合逻M(jìn)行高速濺射，必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過(guò)在靶陰極表面引入磁場(chǎng)，利用磁場(chǎng)對(duì)帶電粒子的約束來(lái)提高等離子體密度以增加濺射率。
影響羅氏線圈性能的因素分析 一種新結(jié)構(gòu)的大電流共模濾波電感 氧化還原流通型（Redox Flow）電池的開(kāi)發(fā)現(xiàn)狀 基于智能傳感器生態(tài)系統(tǒng)的人工智能物聯(lián)網(wǎng)及其應(yīng)用 釩添加對(duì)MnZn功率軟磁鐵氧體機(jī)械強(qiáng)度的影響 車載用與產(chǎn)業(yè)用大型鋰離子電池的開(kāi)發(fā)現(xiàn)狀 電力電子技術(shù)在電源設(shè)計(jì)中的應(yīng)用：開(kāi)關(guān)電源控制器 IEC60205磁性零件有效參數(shù)計(jì)算的瑕疵與分析 IC,ACT30系列獨(dú)控制器及其應(yīng)用 GMI電流傳感器研究進(jìn)展與應(yīng)用 EMI用高磁導(dǎo)率鎂銅鋅JM1K軟磁鐵氧體的研制 EI型電源變壓器輸出為全波整流電路計(jì)算方法 差?！材?fù)合電感器（DCCC）及其在交流電源濾波器（EMI Filter）中的應(yīng)用 30～50kV高壓試驗(yàn)變壓器計(jì)算 Co2O3摻入對(duì)寬溫MnZn鐵氧體材料磁性能的影響 1kW磁集成雙管正激變換器的初步研究 3D打印技術(shù)的應(yīng)用和發(fā)展前景 SMD灌封變壓器貼片反向的分析改善 稀土永磁高速電機(jī)技術(shù)綜述 開(kāi)合式電流互感器的應(yīng)用及其發(fā)展
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重視商業(yè)和技術(shù)性活動(dòng)在推動(dòng)行業(yè)服務(wù)工作方面
的重要作用，并與相關(guān)行業(yè)組織密切合作關(guān)系。
