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裝有電容位移測量驗證的壓電控制器，本質就是壓電控制器，但與一般壓電控制器不一樣的是，它附加裝有電位移測量模塊，該測量模塊可用測量微運動產品的偏移量，檢測范圍一般為0~200μm。該壓電控制器的作用及操作方法。

作用1：可用以驗證閉環(huán)壓電式納米定位系統的偏移量

閉環(huán)壓電式納米定位系統是可進行位移閉環(huán)控制的壓電納米運動定位系統，能夠實時反饋以及控制，壓電促動器的運動位移量，在該系統中，配置的壓電控制器為閉環(huán)壓電控制器，它由功率放大模塊、閉環(huán)伺服模塊、供電模塊構成，可選裝上位機控制模塊。

閉環(huán)壓電控制器加裝電容位移測量，即可進行壓電納米定位系統自身的位移量的測量。

作用2：開環(huán)壓電納米定位系統的位移量驗證測量。

開環(huán)壓電納米定位系統是進行基本運動控制的壓電納米運動定位系統，能夠控制壓電促動器的運動位移量，它由功率放大模塊、供電模塊組成，可選配上位機控制模塊。

該系統加裝電容式位移測量模塊后，能夠測量壓電納米定位系統自身的位移量。

作用3：壓電納米定位系統的閉環(huán)控制

在開環(huán)壓電納米定位系統中加裝電容位移測量模塊，可作為壓電控制器的伺服控制，整個系統形成閉環(huán)控制。同時集成了電容位移測量的壓電控制器，它也具備“作用2”的功能，可測量系統自身位移量。

作用4：可測量運動設備的位移量

若您正應用別的壓電式運動裝備，位移范圍在0~200μm內，也可使用電電容傳感器的壓電式控制器測量。