三層面解析微機械MEMS設備的含義
2021-09-14 15:16:02 來源:韋克威科技 點擊:12603
小型化是MEMS傳感器技術的具體發(fā)展趨勢之一,也是科學研究技術的快速發(fā)展及其時代的快速發(fā)展對傳感器的要求。MEMS微電子機械系統(tǒng)(Micro Electro-Mechanical System,MEMS)技術的發(fā)展趨勢是微機械MEMS傳感器形成的直接驅動力。很多都覺得MEMS技術將刮起下一-次工業(yè)科技革命,微機械傳感器是當前非常成功且最具備實用意義的MEMS設備。
與“一般的”或“基本的"傳感器對比,微機械MEMS傳感器不僅僅在尺寸上按百分比變小。微機械傳感器在原材料、生產加工方法運用標準等層面,與傳統(tǒng)的的傳感器都是有挺大的不一樣的。綜合各種各樣的參考文獻得到,微機械傳感器包括3個方面的含義。
(1)微機械傳感器指的是單一的傳感器。這類傳感器的一個鮮明特點便是尺寸小。在生產中,關鍵選用精密機械加工、微電子技術及其MEMS技術,促使傳感器的尺寸大大的減少。
(2)微機械傳感器也指一個集成的傳感器。這類傳感器將細小的光敏電阻器、信號轉換器、數(shù)據(jù)處理設備封裝在一塊集成ic上,產生集成化的傳感器。
(3)微機械傳感器,指傳感器系統(tǒng)。在這個體系中,不僅包括傳感器,還包括微電動執(zhí)行機構,能夠單獨工作。除此之外,還能夠由好幾個微機械傳感器構成傳感器互聯(lián)網(wǎng)或是利用別的互聯(lián)網(wǎng)完成外地連接網(wǎng)絡。
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