21世紀最有前途的技術(shù)之一MEMS
2021-08-02 15:22:22 來源：CSDN 點擊：2202
MEMS是Micro-Electro-Mechanical System的簡稱，中文名字是微機電系統(tǒng)。MEMS芯片簡單點來說，便是用半導(dǎo)體技術(shù)在單晶硅片上生產(chǎn)制造電子機械系統(tǒng)，再形象一點說便是做一個微米納米級的機械系統(tǒng)，這一機械系統(tǒng)能夠把外部的物理、化學(xué)數(shù)據(jù)信號轉(zhuǎn)化成電子信號。這類集成ic做出來能夠干什么?最常見的是承擔(dān)傳感器作用。在整個大的信息管理系統(tǒng)里有點兒類似人的感官，比如MEMS話筒集成ic等同于人的耳朵里面，能夠認知響聲;MEMS音箱集成ic等同于人的嘴巴，能夠發(fā)出聲音;MEMS加速度傳感器、陀螺儀、磁感應(yīng)器集成ic等同于人的小腦，能夠感知方位和速率;MEMS壓力集成ic等同于人的肌膚，能夠感知壓力;MEMS化學(xué)感應(yīng)器等同于人的鼻孔，能夠感知味兒和溫度濕度。沒有MEMS芯片的人工智能技術(shù)和物聯(lián)網(wǎng)，就等同于一個沒有感官系統(tǒng)的人。
MEMS被覺得是21新世紀最有發(fā)展前途的技術(shù)性之一，假如半導(dǎo)體材料微制造被視作第一次微制造改革，MEMS則是第二次改革。融合硅基電子信息技術(shù)和微機械加工制造技術(shù)性，MEMS具備顛覆性的工業(yè)生產(chǎn)和消費商品的發(fā)展?jié)摿Α?/p>
在這里必須劃重點的是，MEMS是一種生產(chǎn)技術(shù)，例如桿杠、傳動齒輪、活塞桿、汽車發(fā)動機乃至蒸汽機全是由MEMS生產(chǎn)制造的。實際上，MEMS這個詞事實上有一定誤導(dǎo)，由于很多微工業(yè)設(shè)備在一切實際意義上面并不是機械設(shè)備的。殊不知，MEMS又不僅是關(guān)于機械零部件的小型化或用硅生產(chǎn)制造東西，它是是一種運用大批量生產(chǎn)技術(shù)設(shè)計、建立繁雜工業(yè)設(shè)備和系統(tǒng)以及集成化電子產(chǎn)品的案例。再具化一點講，集成電路芯片的設(shè)計是為了更好地運用硅的電力學(xué)特性，而MEMS則運用硅的機械設(shè)備特性，換句話說運用硅的電力學(xué)和機械特性。
那MEMS傳感器又是啥?MEMS傳感器便是把一顆MEMS芯片和一顆專用型集成電路芯片集成ic(ASIC芯片)封裝在一塊后產(chǎn)生的元器件。
MEMS傳感器里最重要的便是MEMS芯片。MEMS芯片能夠把外部的物理、化學(xué)數(shù)據(jù)信號轉(zhuǎn)化成電子信號，而ASIC是把MEMS芯片造成的電子信號進一步處理和傳送到下一級電路。沒有MEMS芯片，MEMS傳感器便是一個沒有靈魂的空殼子。
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