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摘要：  一直以來(lái)，我國(guó)半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)與國(guó)際先進(jìn)水平存在諸多差距，如核心設(shè)備及部分原材料依賴進(jìn)口、外延芯片缺乏核心專利、測(cè)試方法及設(shè)備支撐不足等。而作為L(zhǎng)ED芯片生產(chǎn)核心設(shè)備，MOCVD(金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積)設(shè)備有望率先告別“進(jìn)口依賴”。

關(guān)鍵字：  LED芯片，外延芯片，半導(dǎo)體照明

一直以來(lái)，我國(guó)半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)與國(guó)際先進(jìn)水平存在諸多差距，如核心設(shè)備及部分原材料依賴進(jìn)口、外延芯片缺乏核心專利、測(cè)試方法及設(shè)備支撐不足等。而作為L(zhǎng)ED芯片生產(chǎn)核心設(shè)備，MOCVD(金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積)設(shè)備有望率先告別“進(jìn)口依賴”。

光達(dá)光電設(shè)備科技日前推出國(guó)內(nèi)首臺(tái)自帶高亮度LED工藝MOCVD產(chǎn)品，標(biāo)志中國(guó)企業(yè)在LED芯片生產(chǎn)核心設(shè)備國(guó)產(chǎn)化道路上取得新突破。

光達(dá)光電首席技術(shù)官梁秉文介紹，光達(dá)光電MOCVD設(shè)備將自帶超高亮度LED生產(chǎn)工藝，如同照相機(jī)領(lǐng)域的“傻瓜機(jī)”，可以讓技術(shù)人員更容易操作，從而降低企業(yè)人工及運(yùn)營(yíng)成本。目前，光達(dá)光電已完成其MOCVD設(shè)備的調(diào)試，并與部分國(guó)內(nèi)客戶達(dá)成合作意向;與此同時(shí)，公司正在進(jìn)行更高技術(shù)規(guī)格產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)，預(yù)計(jì)2013年出貨。

MOCVD設(shè)備實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)，意義非凡。近年來(lái)，憑借高效節(jié)能、綠色環(huán)保等特點(diǎn)，LED產(chǎn)業(yè)在國(guó)內(nèi)獲得快速發(fā)展。據(jù)科技部發(fā)布的《半導(dǎo)體照明科技發(fā)展“十二五”專項(xiàng)規(guī)劃》，到2015年，LED產(chǎn)業(yè)規(guī)模預(yù)計(jì)將達(dá)到5000億元。

而作為生產(chǎn)LED芯片的關(guān)鍵設(shè)備，我國(guó)MOCVD設(shè)備近年絕大部分依賴進(jìn)口，市場(chǎng)被歐美企業(yè)壟斷。

數(shù)據(jù)顯示，MOCVD設(shè)備采購(gòu)近兩年出現(xiàn)“瘋狂”增長(zhǎng)，2010年前中國(guó)大陸MOCVD總裝機(jī)量只有150臺(tái)左右，2010年年底增至350臺(tái)，2011年年底更是達(dá)到近700臺(tái)。而有統(tǒng)計(jì)顯示，截至2012年11月底，國(guó)內(nèi)量產(chǎn)MOCVD設(shè)備數(shù)量已達(dá)到909臺(tái)。

專業(yè)研究機(jī)構(gòu)SEMI中國(guó)資深分析師兼LED項(xiàng)目經(jīng)理戚發(fā)鑫告訴記者，近兩年中國(guó)大陸的MOCVD設(shè)備增速已位居全球首位，同時(shí)也成為全球兩大MOCVD設(shè)備企業(yè)AIXTRON(愛(ài)思強(qiáng))和VEECO(維易科)的最大收入來(lái)源。

在業(yè)內(nèi)人士看來(lái)，量產(chǎn)型MOCVD依靠進(jìn)口，嚴(yán)重制約著國(guó)內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)的自主化發(fā)展。據(jù)介紹，一臺(tái)進(jìn)口MOCVD設(shè)備的售價(jià)目前約為1500萬(wàn)元左右。

為打破國(guó)內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)受制于人的局面，科技部發(fā)布的《半導(dǎo)體照明科技發(fā)展“十二五”專項(xiàng)規(guī)劃》明確提出，“十二五”期間將“實(shí)現(xiàn)大型MOCVD設(shè)備及關(guān)鍵配套材料的國(guó)產(chǎn)化”。

遵循這一發(fā)展思路，從2011年開(kāi)始，國(guó)內(nèi)包括思捷愛(ài)普、理想能源等在內(nèi)的多家LED設(shè)備企業(yè)開(kāi)始嘗試推出國(guó)產(chǎn)化MOCVD設(shè)備。截至2012年年底，國(guó)內(nèi)已有近20家企業(yè)和科研團(tuán)隊(duì)宣布涉足MOCVD設(shè)備技術(shù)研發(fā)。

光達(dá)光電有關(guān)負(fù)責(zé)人表示：“歷史已經(jīng)到了一個(gè)轉(zhuǎn)折點(diǎn)，中國(guó)LED產(chǎn)業(yè)需要有實(shí)力的、屬于自己的MOCVD公司的出現(xiàn)，以提升整個(gè)LED產(chǎn)業(yè)的技術(shù)及創(chuàng)新能力?！?/P>