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近日，國家知識產(chǎn)權(quán)局專利復(fù)審委否決了Veeco上海關(guān)于中微半導(dǎo)體專利無效的申請，中微在這次專利對決中獲得的勝利，可以說是對Veeco的一次反擊，但我們假如回顧國內(nèi)外設(shè)備廠商多年來的交鋒，就會發(fā)現(xiàn)其中的波云詭譎，國內(nèi)設(shè)備廠商的發(fā)展之路依然任重道遠。

國外設(shè)備企業(yè)聯(lián)合夾擊

此次事件中的兩位主角都是MOCVD廠商，而國內(nèi)外MOCVD廠商的對決多年來一直沒有停息過。

MOCVD設(shè)備一直都是生產(chǎn)LED外延芯片的關(guān)鍵設(shè)備。由于技術(shù)含量高，MOCVD設(shè)備站在了LED行業(yè)價值鏈的頂端，MOCVD設(shè)備是專利技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè)，而其核心技術(shù)大多掌握在美國Veeco和德國Aixtron等國外企業(yè)手中，并且多年以來這兩家企業(yè)占領(lǐng)了全球90%以上的MOCVD設(shè)備市場，其技術(shù)水平、規(guī)模效應(yīng)、品牌效應(yīng)、客戶資源等都達到了相當?shù)母叨取?/p>

Veeco和Aixtron在知識產(chǎn)權(quán)及其全球?qū)＠M合方面的保護一直十分堅決，這讓后續(xù)進入這一領(lǐng)域的國產(chǎn)MOCVD廠商寸步難行，要突破專利技術(shù)封鎖，建立自主創(chuàng)新的國產(chǎn)MOCVD核心技術(shù)并非易事。據(jù)了解，2016年國產(chǎn)MOCVD設(shè)備在國內(nèi)市占率合計僅11%。

他們利用專利優(yōu)勢來絞殺國產(chǎn)MOCVD設(shè)備商的發(fā)展，從而導(dǎo)致了十幾年來國內(nèi)20多家陸續(xù)從事MOCVD的企業(yè)目前只剩下中微和中晟兩家。

國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)倔強發(fā)展

雖然一直面對Veeco和Aixtron的共同絞殺，但中微和中晟兩家依然堅挺不屈。特別是近年來國產(chǎn)化的大力推進，國產(chǎn)MOCVD設(shè)備開始贏得了國內(nèi)LED芯片廠商的認可，尤其是中微半導(dǎo)體，其MOCVD出貨量已突破100臺，華燦光電和三安光電是其最大客戶。目前，華燦光電對其采購量達到40臺，已獲交付34臺。

國際設(shè)備廠商在中國市場的份額逐漸被國產(chǎn)設(shè)備擠壓，并且在技術(shù)上也逐漸被國內(nèi)設(shè)備廠商趕上。此前三安光電向Aixtron采購50臺腔LED主要生產(chǎn)設(shè)備CCS MOCVD SYSTEM AIX R6，最后由于不能完全滿足三安工藝需求而終止采購。如今Aixtron已經(jīng)基本失去了競爭優(yōu)勢，甚至在2016年，中國資本一度對Aixtron發(fā)起過收購，Aixtron的產(chǎn)品基本上已經(jīng)出局，形成了國產(chǎn)設(shè)備只與Veeco產(chǎn)品競爭的有利格局。

如今中微和中晟兩家企業(yè)在專利技術(shù)上每年都不斷投入，比如中微。中微有一半以上的員工從事研發(fā)工作，而通過十年的發(fā)展和積累，中微已經(jīng)申請了幾百余項國內(nèi)外專利，涉及MOCVD的專利已超過百項，其中大部分專利已被授權(quán)。

專利技術(shù)上的突破使得國內(nèi)MOCVD供應(yīng)商不斷縮小與Veeco產(chǎn)品的技術(shù)差距，并依靠更好的性價比和更便利的售后服務(wù)逐漸得到客戶的認可，已經(jīng)威脅到Veeco在中國市場的領(lǐng)先地位，導(dǎo)致其連續(xù)多年虧損和市場占有率的減少。

新的對決:限制上游原材料

面對國內(nèi)廠商的強勢崛起，Veeco針對中微發(fā)起了新的“進攻”。

2017年4月，Veeco在美國紐約州法院正式起訴石墨托盤制造商SGL，指控其侵犯了Veeco的四項專利，涵蓋設(shè)備主體結(jié)構(gòu)和托盤的全面設(shè)計保護，要求其停止銷售并賠償巨額損失。

石墨托盤是MOCVD設(shè)備最重要的消耗性部件，與設(shè)備腔體設(shè)計密切關(guān)聯(lián)，且使用壽命僅1-2個月，未來如無供應(yīng)，將導(dǎo)致機臺停產(chǎn)，極大影響產(chǎn)能。由于托盤表面鍍膜工藝復(fù)雜，目前僅有德國SGL、日本東洋碳素和荷蘭Xycarb三家能夠供貨。而國內(nèi)設(shè)備廠商不管是中微半導(dǎo)體還是中晟光電，所使用的石墨盤全部來自國外供應(yīng)商，而中微的石墨盤供應(yīng)商恰好是德國SGL。

11月2日，Veeco宣布，美國紐約東區(qū)地方法院同意了Veeco公司針對SGL的一項初步禁令請求，該禁令禁止SGL出售供采用了Veeco專利技術(shù)的MOCVD使用的晶圓承載器，包括專為AMECMOCVD系統(tǒng)設(shè)計的晶圓承載器。并且除了臨時禁令之外，Veeco正在尋求永久性禁令以及經(jīng)濟賠償?shù)取?/p>

如果這項禁令最終落地的話，就意味著中微的設(shè)備將沒有最關(guān)鍵的石墨托盤使用，機器將無法正常運轉(zhuǎn)，損失巨大。

中微積極應(yīng)戰(zhàn)

如今LED產(chǎn)業(yè)幾乎全部集中在中國，LED產(chǎn)業(yè)鏈的每個環(huán)節(jié)都不愿意放棄中國市場，而MOCVD作為核心設(shè)備，MOCVD廠商必然更加對市場錙銖必較、分寸不讓，這時候不僅Veeco招數(shù)盡出，中微自然更加不能退讓。

中微迅速回應(yīng)了Veeco的這一舉措。在11月22日午間，中微半導(dǎo)體攜華燦光電召開交流電話會議，會上中微半導(dǎo)體表達了將會正面面對Veeco訴訟的態(tài)度，其表示，中微半導(dǎo)體在過去十年中也從未在專利上輸過官司，而此次SGL供應(yīng)給公司的石墨盤并未侵犯Veeco的專利。

中微說到做到，早在今年7月，中微就向福建高院正式起訴“Veeco上海”，指控其TurboDisk EPIK 700型號的MOCVD設(shè)備侵犯了中微的基片托盤同步鎖定的中國專利，要求其停止侵權(quán)并主張上億元侵權(quán)損害賠償。

在中微起訴后，Veeco上海對該涉案的中微專利向?qū)＠麖?fù)審委提起無效宣告請求，近日專利復(fù)審委最終做出了審查決定，判定中微專利為有效專利。這次訴訟的勝利，被認為是中微和Veeco這次對決中階段性的關(guān)鍵勝利，未來中微還需要繼續(xù)跟進石墨托盤供應(yīng)商德國SGL的問題。

而中微也表示將在三個方面推動解決上述問題：一是積極發(fā)展第二和第三渠道的供應(yīng)商，預(yù)計一個月即可完成產(chǎn)品驗證，兩三個月即可解決批量問題，春節(jié)前即可恢復(fù)對客戶的石墨盤供應(yīng);二是SGL已在美國提起反訴，預(yù)計很快將取得進展;三是針對專利方面，公司已在中國對Veeco提起專利侵權(quán)訴訟。