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摘要：  英國西薩克斯郡克勞雷 (2013年7月16日)- 精密真空產(chǎn)品和尾氣處理系統(tǒng)領先制造商和相關增值服務領先供應商Edwards集團有限公司(納斯達克代碼：EVAC)已經(jīng)推出了針對應用材料公司制造平臺的加載互鎖和輸送腔體應用的全新集成式真空泵IPUP2。

關鍵字：  集成式真空泵，應用材料公司

第二代泵的先進設計取得初步成功

英國西薩克斯郡克勞雷 (2013年7月16日)- 精密真空產(chǎn)品和尾氣處理系統(tǒng)領先制造商和相關增值服務領先供應商Edwards集團有限公司(納斯達克代碼：EVAC)已經(jīng)推出了針對應用材料公司制造平臺的加載互鎖和輸送腔體應用的全新集成式真空泵IPUP2。該第二代泵在加載互鎖抽真空時間、能耗和維護要求方面具有明顯優(yōu)勢，這些先進性能結(jié)合起來為其帶來同類最佳的性能和擁有成本。該泵已經(jīng)獲得初步成功，在應用材料公司的多類新設備平臺上取得了使用認證，并且已經(jīng)向主要半導體制造商提供超過180套系統(tǒng)。

Edwards公司銷售總經(jīng)理馬克格林(Mark Greene)評論說：“我們非常努力地工作，達到并超越應用材料公司對新一代泵的要求。IPUP2先進的設計減少抽真空時間50%左右，能耗節(jié)約70%，在大修間隔期免維護。很多半導體制造廠商，甚至那些與我們競爭對手長期合作的制造廠商， 很快通過這些訂單認識到了IPUP2的抽氣能力和擁有成本優(yōu)勢。”

IPUP2是為滿足應用材料公司的加載互鎖和輸送腔體抽真空規(guī)格而設計。IPUP2的抽氣速率和功率曲線得到了優(yōu)化，以增加機臺產(chǎn)出能力，最大抽速可達180 m3/h，與第一代相比快89%，抽真空時間縮短54%，同時能耗節(jié)約70% (使用“綠色模式”還可進一步節(jié)能)。該泵中采用的精密軸承確保運行平穩(wěn)、低震動，機油潤滑的軸承和定時齒輪使得大修之間無需常規(guī)維護。IPUP2包括水平和垂直進氣口，其尺寸和配置能夠與前一代泵直接互換。在測試中該泵的得分很高，平均故障間隔(Semi E10標準的MTBF)為5年，可實現(xiàn)超過300萬次加載互鎖工作循環(huán)。

現(xiàn)在IPUP2可見于應用材料公司的機臺或直接由Edwards獲取。更多資訊，請與當?shù)氐匿N售代表聯(lián)絡。

關于Edwards

Edwards公司是全球領先的半導體、平板顯示器、LED和太陽能電池制造領域高精真空設備和尾氣處理系統(tǒng)制造商及相應增值服務供應商，是工業(yè)、鍍膜、鋼鐵、冶金、制藥、化工、科學儀器行業(yè)以及廣泛的研發(fā)應用領域的真空技術(shù)領導者。

Edwards在全球擁有3，200多名全職員工和500多名臨時員工，他們在世界各地約30個國家和地區(qū)從事高科技真空和尾氣處理設備的設計、制造和支持工作。

Edwards公司的美國存托股票(American Depositary Shares)在納斯達克全球精選市場(NASDAQ Global Select Market)上交易，交易代號為EVAC。要了解有關Edwards的更多信息，請訪問公司網(wǎng)站www.edwardsvacuum.com。