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摘要：  近年來(lái)，隨著消費(fèi)電子領(lǐng)域的快速發(fā)展，MEMS器件正式進(jìn)入了人們的視線。各大廠商這兩年來(lái)紛紛推出眾多的MEMS器件，MEMS涉及的產(chǎn)品領(lǐng)域極其豐富，大家所熟知的有MEMS加速度計(jì)、MEMS陀螺儀、MEMS麥克風(fēng)、磁力計(jì)等。面對(duì)當(dāng)前的MEMS器件熱，電子發(fā)燒友網(wǎng)在這里先為大家整理了ADI近年來(lái)發(fā)布的MEMS器件新品來(lái)供大家認(rèn)識(shí)與了解。

關(guān)鍵字：  MEMS器件，  ADI，  

近年來(lái)，隨著消費(fèi)電子領(lǐng)域的快速發(fā)展，MEMS器件正式進(jìn)入了人們的視線。各大廠商這兩年來(lái)紛紛推出眾多的MEMS器件，MEMS涉及的產(chǎn)品領(lǐng)域極其豐富，大家所熟知的有MEMS加速度計(jì)、MEMS陀螺儀、MEMS麥克風(fēng)、磁力計(jì)等。面對(duì)當(dāng)前的MEMS器件熱，電子發(fā)燒友網(wǎng)在這里先為大家整理了ADI近年來(lái)發(fā)布的MEMS器件新品來(lái)供大家認(rèn)識(shí)與了解。

ADI MEMS加速度計(jì)新品系列

ADI首款MEMS加速度計(jì)ADXL350具最小與最大偏移敏感度

美商亞德諾(Analog Devices， Inc.， ADI)公司推出首款具有相對(duì)于完整溫度範(fàn)圍最小/最大偏移敏感度的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì) ADXL350 ，這款叁軸 MEMS 加速度計(jì)具有在X與Y軸上+/-0.31 mg/℃以及在Z軸上+/-0.49 mg/℃的最大偏移溫度敏感度，能夠保證在-40℃至+85℃的完整溫度範(fàn)圍中可預(yù)期與可量化的性能。

目前市場(chǎng)上的MEMS加速度計(jì)通常只會(huì)設(shè)定相對(duì)于溫度的偏移敏感度，并需要隨溫度進(jìn)行校正以維持精確的感測(cè)器讀數(shù)。ADXL 350相對(duì)于溫度的最小/最大偏移敏感度規(guī)格，即使是在具有寬廣溫度範(fàn)圍的應(yīng)用當(dāng)中都能夠保證提供已知而且可量化的偏移感測(cè)器量測(cè)。此外，ADXL 350具有低雜訊密度，能夠讓設(shè)計(jì)廠商以! 低雜訊層從應(yīng)用裝置獲得可以採(cǎi)信的量測(cè)結(jié)果。

ADXL 350提供具有13位元解析度的內(nèi)建類比數(shù)位轉(zhuǎn)換功能，最低可達(dá)2 mg /LSB，而且組態(tài)可以在+/-1g/2g/4g/8g 的範(fàn)圍設(shè)定。ADXL 350採(cǎi)用小巧佔(zhàn)位面積的3 mm x 4 mm x 1.2 mm、16隻接腳塑料腔層壓封裝。ADXL 350很適合使用于工業(yè)與國(guó)防工業(yè)當(dāng)中的高性能應(yīng)用，像是瓦斯/自來(lái)水計(jì)量表、環(huán)境監(jiān)測(cè)器、以及軍用通訊無(wú)線電等。

ADXL 350 MEMS 加速度計(jì)的主要特點(diǎn)包括：

相對(duì)于溫度的最小/最大偏移敏感度為+/-0.31 mg/攝氏度 X/Y軸、+/-0.49 mg/攝氏度 Z軸，保證了在完整溫度範(fàn)圍中可預(yù)期與可量化的性能。

以13位元的內(nèi)建A/D轉(zhuǎn)換器提供2 mg /LSB的解析度，實(shí)現(xiàn)了低于1.0°傾斜變化的量測(cè)功能。

低功率模式實(shí)現(xiàn)了以動(dòng)作為基礎(chǔ)的智慧型電源管理，并能夠以極低的功率消耗執(zhí)行臨界感測(cè)與主動(dòng)加速度量測(cè)。

ADI推出首款商用模擬三軸MEMS加速度計(jì)

ADI公司的ADXL377MEMS加速度計(jì)能夠精確測(cè)量接觸類運(yùn)動(dòng)及工業(yè)設(shè)備高沖擊事件中的沖擊力

Analog Devices， Inc. (NASDAQ： ADI)最近推出業(yè)界首款商用模擬三軸高g MEMS加速度計(jì)。ADXL377可測(cè)量±200 g滿量程范圍內(nèi)且無(wú)信號(hào)飽和情況下由沖擊和振動(dòng)引起的高沖擊事件的加速度。該測(cè)量范圍與可連續(xù)捕捉?jīng)_擊數(shù)據(jù)的模擬輸出相結(jié)合，使ADXL377成為接觸類運(yùn)動(dòng)的理想傳感器，可通過(guò)檢測(cè)沖擊力來(lái)了解創(chuàng)傷性腦損傷(TBI)指標(biāo)。ADXL377帶寬為1600 Hz，也非常適合用于密切監(jiān)控沖擊水平的工業(yè)設(shè)備。ADI公司的新型三軸加速度計(jì)無(wú)需對(duì)準(zhǔn)及放置正交傳感器，可大大簡(jiǎn)化設(shè)計(jì)。電路板空間比需要多個(gè)單軸加速度計(jì)的典型解決方案縮小了多達(dá)5倍。

在其他應(yīng)用中，ADXL377三軸高g MEMS加速度計(jì)可集成到IZOD 2012 INDYCAR系列車手沖擊安全系統(tǒng)中。INDYCAR與ADI公司在ADXL377產(chǎn)品定義階段開(kāi)展了密切合作，由此產(chǎn)生的器件使得INDYCAR能夠升級(jí)其通信耳機(jī)中的傳感器，據(jù)INDYCAR工程總監(jiān)Jeff Horton稱，該耳機(jī)是用來(lái)測(cè)量練習(xí)賽、計(jì)時(shí)賽和正賽中由于碰撞對(duì)車手產(chǎn)生的沖擊。

Horton表示：“ADI公司的新型ADXL377三軸加速度計(jì)將為我們的耳機(jī)傳感器項(xiàng)目錦上添花。該器件尺寸更小，大大縮短了將元件放入各車手定制耳模之前所需的生產(chǎn)時(shí)間，而且加速度計(jì)的位置離耳道口更近，有助于將加速度計(jì)連接至駕駛員頭部，獲得更加準(zhǔn)確的讀數(shù)。過(guò)去，要獲得相同的數(shù)據(jù)，我們必須在每只耳朵內(nèi)使用三個(gè)獨(dú)立的IC?！?/P>

ADI公司MEMS/傳感器部門副總裁兼總經(jīng)理Mark Martin表示：“如今，創(chuàng)傷性腦損傷已成為運(yùn)動(dòng)員、工人和軍人等各行各業(yè)都會(huì)遇到的嚴(yán)重醫(yī)學(xué)問(wèn)題，ADI致力于幫助客戶設(shè)計(jì)更加小巧、精確、簡(jiǎn)單的抗沖擊系統(tǒng)。由于上述大量應(yīng)用都需要極高的移動(dòng)能力，因此，如果能夠在省去正交傳感器的同時(shí)降低能耗，就意味著這些電池供電設(shè)備能夠延長(zhǎng)單次充電的續(xù)航時(shí)間。”

ADXL377 MEMS加速度計(jì)特性

三軸檢測(cè)

范圍(g)： ±200

功耗：300 μA(典型值)

單電源供電：1.8 V至3.6 V

抗沖擊能力：10000 g

小尺寸薄型封裝

帶寬：1600 Hz，適合工業(yè)沖擊檢測(cè)應(yīng)用

ADI推出雙軸iMEMS加速度計(jì)ADXL206

Analog Devices， Inc. ADI)，全球領(lǐng)先的高性能信號(hào)處理解決方案供應(yīng)商，最近正式全面推出高精度、低功耗、提供信號(hào)調(diào)理的模擬電壓輸出的雙軸iMEMS®加速度計(jì)ADXL206。單芯片ADXL206的滿量程加速度測(cè)量范圍為±5 g，既能測(cè)量振動(dòng)等動(dòng)態(tài)加速度，也能測(cè)量重力等靜態(tài)加速度。保證的工作溫度范圍為-40°C至+175°C，具有出色的整體穩(wěn)定性，非常適合用于地質(zhì)鉆探工具和其它極端高溫工業(yè)應(yīng)用。

ADI公司MEMS和傳感器技術(shù)部營(yíng)銷與應(yīng)用經(jīng)理Wayne Meyer表示：“我們沒(méi)有使用額外的溫度補(bǔ)償電路，而是采用創(chuàng)新的設(shè)計(jì)技術(shù)來(lái)確保從內(nèi)部實(shí)現(xiàn)高性能。因此，它基本上不存在量化誤差或其它非單調(diào)性，溫度遲滯非常低，在40°C至+175°C的整個(gè)溫度范圍內(nèi)通常小于2 mg。這款產(chǎn)品再次彰顯了ADI公司在高性能MEMS慣性傳感器領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)地位。”

ADI公司儀器儀表市場(chǎng)營(yíng)銷經(jīng)理Pam Aparo表示：“一方面，設(shè)計(jì)師結(jié)合各種智能鉆探系統(tǒng)，以力求不斷深入地表，另一方面，又不得不在功耗、尺寸和空間要求與獲得更多信息之間作出權(quán)衡。ADXL206 iMEMS加速度計(jì)不僅是一款極為緊湊的解決方案，而且大幅降低了功耗，單軸功耗從10 mA以上降至0.5 mA以下?！?/P>

ADXL206 iMEMS加速度計(jì)的典型噪底為110 μg/√Hz，因而在傾斜檢測(cè)應(yīng)用中，可以利用窄帶寬(《60 Hz)解析1 mg(0.06°傾角)以下的信號(hào)。根據(jù)應(yīng)用需要，可以選擇0.5 Hz至2.5 kHz范圍內(nèi)的帶寬。ADXL206提供13 mm × 8 mm × 2 mm、8引腳側(cè)面釬焊陶瓷雙列直插式封裝(SBDIP)。

ADXL206 iMEMS加速度計(jì)主要特性

溫度范圍：–40°C至+175°C 分辨率：1 mg (60 Hz) 低功耗：700 µA(VS = 5 V，典型值) 高零g偏移可重復(fù)性 高靈敏度精度 抗沖擊能力：3500 g 產(chǎn)品報(bào)價(jià)與供貨。