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摘要：  華虹NEC為其客戶提供全方位、全天候服務，包括各類技術(shù)支持、單元庫與IP、版圖驗證、晶圓加工、晶圓測試、可靠性測試和失效分析等。此外，華虹NEC還可以透過其合作伙伴向客戶提供包括掩膜版制作和封裝測試在內(nèi)的一站式服務。

關(guān)鍵字：  純晶圓，  IGBT芯片，  電力電子，  分立器件

(上海，中國—2011年9月8日)世界領(lǐng)先的純晶圓代工廠之一，上海華虹NEC電子有限公司(以下簡稱“華虹NEC”)今日宣布，公司與其技術(shù)合作伙伴中國科學院微電子研究所(以下簡稱“微電子所”)通力合作，開發(fā)的6500V Trench FS IGBT(溝槽類型場終止絕緣柵雙極晶體管)取得了階段性的突破，標志著國內(nèi)自主高壓高功率IGBT芯片從設(shè)計研制到工藝開發(fā)的整體貫通又上了一個新的臺階。

IGBT作為新型的電力電子核心器件，廣泛應用于關(guān)系國計民生的諸多重要領(lǐng)域。根據(jù)不同應用領(lǐng)域的需求，IGBT產(chǎn)品往往以阻斷電壓等級進行劃分，其中6500V系列是目前市場應用中電壓等級最高，同時也是技術(shù)最難的的產(chǎn)品，全球只有極個別少數(shù)國外廠商擁有。華虹NEC擁有成熟先進的高壓分立器件制造技術(shù)，聯(lián)合戰(zhàn)略合作伙伴中科院微電子所，致力于推動國產(chǎn)IGBT開發(fā)及產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展。雙方密切合作，由微電子所自主設(shè)計器件元胞和終端結(jié)構(gòu)，由華虹NEC開發(fā)關(guān)鍵單項工藝及工藝整合，采用當前國際上最先進的器件結(jié)構(gòu)與工藝--Trench gate(槽型柵)結(jié)合Field Stop(場截止，簡稱FS)技術(shù)，首次流片結(jié)果顯示阻斷電壓已達到了7100V以上，完全符合最初的設(shè)定目標。華虹NEC的領(lǐng)先Trench技術(shù)，在溝槽的形貌、光滑度和填充等方面處于世界領(lǐng)先地位，工藝性能穩(wěn)定，可靠性高，并有超過兩百萬片8寸晶圓的生產(chǎn)經(jīng)驗。此次流片結(jié)果證明了超高壓溝槽柵IGBT的可行性(國外6500V系列產(chǎn)品均采用平面柵結(jié)構(gòu))，同時說明了華虹NEC制造工藝尤其Trench技術(shù)的高超技藝。這次產(chǎn)、學、研合作的階段性成果對于發(fā)展我國超高壓高端分立器件，并滿足高端電力電子器件的需求做了一個的很好的注解。

中科院微電子研究所科技處長王文武研究員說：華虹NEC作為生產(chǎn)功率分立器件的領(lǐng)先企業(yè)，擁有成熟先進的工藝條件和多年生產(chǎn)8英寸功率分立器件的豐富經(jīng)驗，我們的高壓高功率IGBT產(chǎn)品基于華虹NEC的工藝平臺開發(fā)是正確的選擇。微電子所致力于國產(chǎn)自主IGBT產(chǎn)品的研制，相關(guān)產(chǎn)業(yè)化公司正在籌建，后續(xù)我們將完善產(chǎn)品參數(shù)和工藝優(yōu)化，達到相應可靠性等級，早日實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。

華虹NEC銷售與市場副總裁高峰表示：“我們很高興與業(yè)內(nèi)知名的高壓功率器件研究單位中科院微電子研究所在IGBT領(lǐng)域進行合作，中國是全球最大的功率半導體市場，國內(nèi)市場所需的功率半導體約有90%依賴進口，IGBT功率器件基本上完全被國外廠商壟斷;因此，開發(fā)半導體功率芯片特別是高壓高功率IGBT及配套器件產(chǎn)品工藝，研制出高壓高功率IGBT及配套器件產(chǎn)品并實現(xiàn)量產(chǎn)，無論從國家的經(jīng)濟利益還是戰(zhàn)略發(fā)展上都具有非常深遠的意義?！?/P>

關(guān)于華虹NEC：

上海華虹NEC電子有限公司成立于1997年7月，是中國大陸第一家8英寸晶圓廠，現(xiàn)已成為世界領(lǐng)先的專業(yè)集成電路晶圓代工企業(yè)。客戶遍及中國大陸、中國臺灣、韓國、日本以及美國等國家與地區(qū)。公司目前擁有兩條8英寸生產(chǎn)線，月產(chǎn)能接近9萬片。公司總部位于中國上海，在臺灣、日本、北美和歐洲等地均提供銷售與技術(shù)支持。

華虹NEC為國內(nèi)外客戶提供涵蓋1.0~0.13微米工藝的、專業(yè)的、高附加值代工服務，專注于嵌入式非揮發(fā)性存儲器、模擬/電源管理芯片、高壓、射頻以及功率器件等特色工藝平臺以及邏輯、混合信號等通用工藝平臺，代工產(chǎn)品已廣泛應用于智能卡(第二代身份證卡、SIM卡、社?？ǖ?、通訊、計算機、消費類電子以及汽車電子等領(lǐng)域。

華虹NEC為其客戶提供全方位、全天候服務，包括各類技術(shù)支持、單元庫與IP、版圖驗證、晶圓加工、晶圓測試、可靠性測試和失效分析等。此外，華虹NEC還可以透過其合作伙伴向客戶提供包括掩膜版制作和封裝測試在內(nèi)的一站式服務。

華虹NEC先后通過了ISO9001質(zhì)量管理體系、ISO14001環(huán)境管理體系、ISO27001信息安全管理體系、OHSAS18001職業(yè)健康安全管理體系認證，獲得美國商務部產(chǎn)業(yè)和安全局(“BIS”) 的“經(jīng)驗證最終用戶”(“VEU”) 授權(quán)，并且通過了TS16949體系符合性審核。華虹NEC由此具有更高的產(chǎn)品品質(zhì)和信息安全性。