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摘要：  意法半導(dǎo)體大幅提升MEMS生產(chǎn)線的產(chǎn)能，預(yù)計至2011年底， 傳感器日產(chǎn)能將超過300萬顆，以滿足客戶對高性能、低價格傳感器的爆炸性增長的需求。

關(guān)鍵字：  意法半導(dǎo)體，  傳感器，  晶片

橫跨多重應(yīng)用領(lǐng)域、全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體制造商及全球第一大消費電子和便攜式應(yīng)用的MEMS(微機電系統(tǒng))元器件供應(yīng)商意法半導(dǎo)體 (STMicroelectronics，簡稱ST;紐約證券交易所代碼：STM)大幅提升MEMS生產(chǎn)線的產(chǎn)能，預(yù)計至2011年底， 傳感器日產(chǎn)能將超過300萬顆，以滿足客戶對高性能、低價格傳感器的爆炸性增長的需求。

意法半導(dǎo)體部門副總裁兼MEMS、傳感器和高性能模擬產(chǎn)品部總經(jīng)理Benedetto Vigna表示：“我們正在引領(lǐng)MEMS消費電子化革命，力求繼續(xù)領(lǐng)導(dǎo)這個市場。我們不斷提高生產(chǎn)線的產(chǎn)能，推動MEMS進入高速增長的市場，如醫(yī)療保健、工業(yè)和汽車。意法半導(dǎo)體搶占了普及微機械傳感器的先機?！?/P>

2006年，意法半導(dǎo)體全球首創(chuàng)在8英寸晶片上生產(chǎn)MEMS傳感器，從而大幅降低了產(chǎn)品的單位成本，推動了現(xiàn)有MEMS應(yīng)用的增長和新MEMS市場的發(fā)展。意法半導(dǎo)體MEMS產(chǎn)品主要制造廠包括在意大利Agrate和Catania的傳感器制造廠、法國Rousset和Crolles的邏輯裸片制造廠以及馬耳他Kirkop、和菲律賓Calamba的封裝測試廠。

意法半導(dǎo)體MEMS傳感器制造技術(shù)受益于其研發(fā)的全球領(lǐng)先的制程。THELMA(Thick Epi-Poly Layer for Microactuators and Accelerometers)表面微機械加工制程被用于制造加速計和陀螺儀，這項工藝混合使用薄厚不一的多晶硅層制造傳感器的結(jié)構(gòu)和連接件，能夠在同一顆芯片上整合線性和角運動機械元件，讓客戶能夠大幅降低產(chǎn)品的成本和尺寸?；パa性VENSENS (‘Venice Sensor’)制程可在單晶硅片內(nèi)整合氣室，制造尺寸和性能出色的微型壓力傳感器。

大吞吐量處理能力已成為MEMS廠商承受高速增長的市場需求的艱巨挑戰(zhàn)之一，同時也是取得市場成功的關(guān)鍵。意法半導(dǎo)體先進的MEMS封裝測試平臺既能并行處理大量的傳感器芯片，又為每個芯片提供恒定且重復(fù)的測試激勵信號，從而大幅提高生產(chǎn)線的整體產(chǎn)能。

意法半導(dǎo)體的MEMS傳感器讓智能手機、平板電腦、個人媒體播放器、游戲機、數(shù)碼相機及遙控器等主流消費電子設(shè)備具有運動控制式用戶界面。計算機廠商廣泛使用意法半導(dǎo)體的加速度計傳感器進行自由落體檢測，保護筆記本電腦的硬盤驅(qū)動器;汽車配套廠商將意法半導(dǎo)體的MEMS傳感器用于安全氣囊、導(dǎo)航系統(tǒng)等汽車設(shè)備中。