近年來，受移動通信、物聯(lián)網(wǎng)、醫(yī)療、汽車等應用需求的影響，MEMS傳感器市場正在迅速崛起。相比傳統(tǒng)的機械傳感器，MEMS傳感器具有微型化、重量低、功耗低、成本低、多功能等諸多競爭優(yōu)勢，廣泛應用于汽車、消費電子、醫(yī)療、航天航空、通訊等領域。然而，MEMS傳感器技術在以上領域仍會面臨技術上的挑戰(zhàn)，例如傳感器性能、精度、功耗等。
因此，為了推動MEMS傳感器技術的進一步提升，促使其向更多新興領域發(fā)展以及帶來更多可感知的價值，《半導體器件應用》雜志真誠向業(yè)界專家、學者和研發(fā)設計人員征稿，加強同行對各類MEMS傳感器技術與器件的了解，期待共同將其打造報道業(yè)界的最新研究成果、技術動態(tài)，以及融匯一線研發(fā)設計人員的應用和創(chuàng)新設計思想的優(yōu)秀專欄。
主要涉及微型機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號處理和控制電路、直至接口、通信、電源、芯片以及相應的配件或系統(tǒng)、測試設備、產(chǎn)品設計、技術研發(fā)、加工工藝、應用材料、標準進展相關的理論分析、技術動態(tài)、發(fā)展趨勢及市場評述等文章。
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